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| TCVM/TCVX 5,10-□SM Type |
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| Vacuum pump (진공펌프) Mini Multiple Stack Type (소형 스택 매니폴드 형) |
다단노즐(Multi-stage nozzle)이 장착된 소형 진공펌프를 다시 매니폴더(Manifold)로 묶어서 조합일체형(intergrated type)으로 제작한 것임.
2개에서 최대 16개 까지 조합이 가능하며, 1EA의 Air 공급 Line으로 각각의 소형펌프(Chipe type)를 구동시킬 수 있으며, 불특정한 라인의 진공 파기 시에도 여타의 펌프에는 전혀 영향을 주지 않는다. 따라서, 여러개의 Suction Port를 사용하는 공정 또는 진공 누수가 많은 곳에 사용하면 안정성이 휠씬 높아질수 있다. |
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